半導体の300mmウェハはFOUPというウェハ25枚を格納できる容器があります。
その容器を使って各装置にウェハを搬送します。
FOUPの種類は工場によって違いますが、数種類用意されています。理由は詳しく書きませんが、工程によっては微細な粒子が舞い同じFOUPを使い続けると、製品に対しての歩留まりが低くなるため処理の前には必ず最適なFOUPの交換を行います。
働いていた時は最初は目視で行っていましたが、最終的には内製プログラム処理に移行となりました。
今回はクロス表を作成して、AIがチェック処理できるかを検証してみました。
クロス表とはFOUP交換の可否を一覧化した表で、縦軸に送り側FOUP、横軸に受け側FOUPを並べ、交点に ○（交換OK） / ×（交換NG） を記載したものです。
これをエクセルにしたものを、工程表と一緒にAIにアップロードします。
例（イメージ）：
プロンプト：
先ほどアップロードした、工程表とクロス表を使って処理を行ってください。
工程表のD列の3行目から最終行まで、1行ずつ順番にFOUPの組み合わせをチェックしてください。
・D列のn行目を「送り側」
・D列の(n+1)行目を「受け側」
としてクロス表に照らし合わせ、○か×を判定します。
×だった組み合わせは、以下の形式で出力してください。 「n行目（送り側） → (n+1)行目（受け側）：×」
最後の行まで繰り返してください。
結果については、複数回の処理を行い、いずれのケースでも問題がないことを確認しました。今回のサンプルは工数が100件程度と比較的小規模で、クロス表の条件も限られていたため、実運用レベルでの評価にはもう少し大きなデータが必要だと感じています。ただ、小規模な範囲であれば十分に活用できる手応えがありました。
また、AIが苦手とするあいまいな条件を排除するため、工程表のD列については事前に空白や不正な文字が混入していないかチェックを行い、入力データの品質を確保しています。